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    PE150等離子增強(qiáng)器

    CIF等離子增強(qiáng)器是專為CVD管式爐研發(fā)的升級(jí)改造模塊，通過(guò)加裝等離子體發(fā)生裝置，可將傳統(tǒng)熱CVD設(shè)備直接升級(jí)為PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）系統(tǒng)，大幅降低用戶采購(gòu)全新PECVD設(shè)備的投入成本，適配科研、半導(dǎo)體、新能源等多領(lǐng)域薄膜制備需求。

    時(shí)間：2026-05-09型號(hào)：PE150訪問(wèn)量：152
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